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安徽碳索芯材请求金刚石基台及其制造办法专利可供给一种金刚石基台到达电子级单晶晶圆而不决裂且经过机械缓冲层下降其内应力以消除电化学层中的点缺陷及空孔

  金融界2024年10月23日音讯,国家知识产权局信息数据显现,安徽碳索芯材科技有限公司请求一项名为“金刚石基台及其制造办法”的专利,公开号CN 118792734 A,请求日期为2024年7月。

  专利摘要显现,本发明公开了金刚石基台及其制造办法,触及半导体器材技术领域,所描绘的办法包含以下过程:S1,预备晶种,选用高温高压法或许微波化学气相堆积成长法成长的单晶金刚石晶种;S2,榜首成长过程,经过微波等离子体化学气相堆积法成长过程S1中的所述晶种以得到榜首晶体;S3,第二成长过程,经过微波等离子体化学气相堆积法成长过程S2中的所述榜首晶体以得到第二晶体;S4,第三成长过程,经过微波等离子体化学气相堆积法成长过程S3中的所述第二晶体以得到金刚石基台。本发明可供给一种金刚石基台,该金刚石基台到达电子级单晶金刚石晶圆而不决裂且经过机械缓冲层下降其内应力以消除电化学层中的点缺陷及空孔。

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