本报讯（首席记者周珂通讯员孔晓睿）同一炉台多尺度成长技能，是怎样的？这样的设备，就“藏”在坐落浙大杭州世界科创中心的晶驰机电科技有限公司总部。

　　与传统的硅资料比较，碳化硅具有更宽的禁带能隙以及更高的熔点、电子迁移率和热导率，可在高温、高电压条件下安稳作业，已成为新能源与半导体工业迭代晋级的要害资料。但现在，衬底资料本钱居高不下，严峻阻止了碳化硅器材大规模使用。

　　晶驰机电研制总监赵聪介绍，“与市面上遍及的6英寸和8英寸的衬底比较，12英寸碳化硅衬底资料扩展了单片晶圆上可用于芯片制作的面积。也就是说，在平等出产条件下，芯片产值显着提高，单位芯片制作本钱自然会显着下降。”

　　把碳化硅长晶炉幻想成烤箱，烤制的蛋糕尺度不同，所需工艺也有不同。烘焙姑且如此，更不用说长晶这样需求严控、层层把关的技能。8英寸和12英寸单晶成长的参数设置、热场散布，乃至晶炉内部配备的坩埚都有不同。

　　赵聪带领研制团队从上一年初就开端了高强度的研制攻关，“咱们自主研制的‘电阻法碳化硅单晶成长设备’，以立异的结构和热场规划，结合最先进的进程操控理论和自动化操控办法，完成了均匀的径向温度和宽规模精准可调的轴向温度梯度，并能完成长晶进程中工艺参数的精准操控和设备正常运转的高度智能化，无论是8英寸仍是12英寸，都能无缝‘一键切换’。”

　　与传统出产不一样，此次晶驰机电完成了同一台设备既可安稳量产8英寸碳化硅单晶，又彻底具有成长12英寸碳化硅单晶的才能。

　　经过该设备成长出来的晶锭形状完美，外表微凸度精准操控在2.4mm以内。炉间工艺安稳、操作办法简略，可完成快速投产；整个工艺流程悉数自动化操控，合适工业化使用。“这不只更灵敏适用于未来大尺度碳化硅衬底的规模化量产，还大起伏的下降了芯片的制作本钱，进一步促进职业降本增效。”

　　上一年10月，晶驰机电还完成了首轮数千万融资。从实验室的“麦苗”到工业“良木”，作为浙大杭州世界科创中心第一批自主孵化的科技公司之一，晶驰机电致力于处理国家先进半导体设备技能卡脖子问题，提高国内先进资料制作才能，完成进口代替。接下来，晶驰机电将持续坚持自主立异，不断探究先进半导体配备的新技能。